的深紫外光
经过矫正后，进入能量控制器、光束成型装置等设备，再进入光掩膜台。
光掩膜台上面放的测试用的光掩膜，之后经过物镜投射到曝光台。
曝光台上放置着一张8英寸晶圆片，上面涂抹了光刻胶。
半个小时后……当然芯片不是这么一点时间就可以做出来的，但是其工作状态和试运行成果却是能判断的。
“这，这，这……”
“这居然是真的，国产DUV光源？我不是在做梦吧，老赵。”
“纯净度极为优秀”
刚刚还有些负气的年轻工程师此刻看着工作间里面的光刻机，嘴巴不自觉张大，眼神有些涣散。
李由作为一个有家室的中年人，很是照顾后辈。
他走到这人身旁，拍了拍他的肩膀。
“回回神，这才刚开始。”
“啊？啊？什么开始？你们可以把这个光源卖给我们吗？现在就可以用我们国产的光源了吗？”
这位青年工程师有些语无伦次，其他研发人员和工程师亦是如此。
整个实验室和光刻机工作间的人都震惊了。
大夏企业自己的光源设备！
他们等这一天多久了？
有浦东微电子的老工程师不自觉擦起了眼泪。
男儿有泪不轻弹，只是未到伤心处。
这群投身国产半导体行业的老人们更是感触颇深。
他们当年搞这个的时候……
“造不如买、造出垃圾来卖得又贵，国产不好用。
国产毛病多，你们别做了，还是买德国的光源吧！
搞个光刻机净坑自己人！”
一句句往日刁钻刻薄的话此刻在耳边回响，再看看现在那台光刻机。
“终于有好光源了。”
赵教授摘下眼镜，擦了又擦眼角的泪水，他身旁助理此刻也是以泪洗面。
顾青抿着嘴，摇了摇头。
虽然了解过大夏半导体科研的困难，但他还是低估了当年舆论环境和经济环境对这些科研人员的伤害。
是啊，国外有成熟高端的技术，只需要花钱买，就能享受到完美的服务。
国内还有一群榆木疙瘩，到处求人拉赞助，抠抠搜搜攒钱做实验做开发，好不容易做出点成果，因为没有经过市场适配和反馈升级，有瑕疵。
然后就是铺天盖地的辱骂贬低，甚至“